Lithography Machine Mask Aligner Photo-Etching Machine
ការណែនាំអំពីផលិតផល
ប្រភពពន្លឺដែលមានការប៉ះពាល់ទទួលយកកាំរស្មីយូវី LED និងម៉ូឌុលបង្កើតប្រភពពន្លឺដែលនាំចូលមកដោយមានកំដៅតូច និងស្ថេរភាពប្រភពពន្លឺល្អ។
រចនាសម្ព័នភ្លើងបញ្ច្រាសមានប្រសិទ្ធិភាពបញ្ចេញកំដៅបានល្អ និងឥទ្ធិពលជិតប្រភពពន្លឺ ហើយការជំនួស និងថែទាំចង្កៀងបារតគឺសាមញ្ញ និងងាយស្រួល។ បំពាក់ដោយមីក្រូទស្សន៍វាលពីរកែវយឹតដែលមានការពង្រីកខ្ពស់ និងអេក្រង់ LCD ទំហំ 21 អ៊ីង អាចតម្រឹមតាមរូបភាព
eyepiece ឬ CCD + បង្ហាញជាមួយនឹងភាពត្រឹមត្រូវនៃការតម្រឹមខ្ពស់ដំណើរការវិចារណញាណនិងប្រតិបត្តិការងាយស្រួល។
លក្ខណៈពិសេស
ជាមួយនឹងមុខងារដំណើរការបំណែក
កម្រិតសម្ពាធទំនាក់ទំនងធានាបាននូវភាពអាចធ្វើបានដដែលៗតាមរយៈឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា
គម្លាតតម្រឹម និងគម្លាតការប៉ះពាល់អាចត្រូវបានកំណត់ជាឌីជីថល
ការប្រើប្រាស់កុំព្យូទ័របង្កប់ + ប្រតិបត្តិការអេក្រង់ប៉ះ សាមញ្ញ និងងាយស្រួល ស្រស់ស្អាត និងសប្បុរស
ទាញប្រភេទឡើងលើ និងចុះក្រោម សាមញ្ញ និងងាយស្រួល
គាំទ្រការប៉ះពាល់ជាមួយការខ្វះចន្លោះ ការប៉ះពាល់ទំនាក់ទំនងរឹង ការប៉ះពាល់ទំនាក់ទំនងដោយសម្ពាធ និងការប៉ះពាល់ជិត
ជាមួយនឹងមុខងារ nano imprint interface
ការប៉ះពាល់ស្រទាប់តែមួយដោយប្រើសោមួយ កម្រិតខ្ពស់នៃស្វ័យប្រវត្តិកម្ម
ម៉ាស៊ីននេះមានភាពជឿជាក់ល្អ និងការបង្ហាញងាយស្រួល ជាពិសេសសមរម្យសម្រាប់ការបង្រៀន ការស្រាវជ្រាវវិទ្យាសាស្ត្រ និងរោងចក្រនៅក្នុងមហាវិទ្យាល័យ និងសាកលវិទ្យាល័យ។
ព័ត៌មានលម្អិតបន្ថែម
ការបញ្ជាក់
1. ផ្ទៃខាងក្រៅ៖ 110mm × 110mm;
2. ★ រលកពន្លឺ: 365nm;
3. ដំណោះស្រាយ: ≤ 1m;
4. ភាពត្រឹមត្រូវនៃការតម្រឹម: 0.8m;
5. ជួរចលនានៃតារាងស្កេននៃប្រព័ន្ធតម្រឹមយ៉ាងហោចណាស់ត្រូវជួប: Y: 10mm;
6. បំពង់ពន្លឺឆ្វេងនិងស្តាំនៃប្រព័ន្ធតម្រឹមអាចផ្លាស់ទីដោយឡែកពីគ្នាក្នុងទិស X, y និង Z, ទិស X: ± 5mm, ទិស Y: ± 5mm និងទិសដៅ Z: ± 5mm;
7. ទំហំរបាំង: 2.5 អ៊ីញ, 3 អ៊ីញ, 4 អ៊ីញ, 5 អ៊ីញ;
8. ទំហំគំរូ: បំណែក, 2 ", 3", 4 ";
9. ★សាកសមសម្រាប់កម្រាស់គំរូ: 0.5-6mm, និងអាចគាំទ្របំណែកគំរូ 20mm ច្រើនបំផុត (ប្ដូរតាមបំណង);
10. របៀបបញ្ចេញពន្លឺ៖ ពេលវេលា (របៀបរាប់ថយក្រោយ);
11. ភាពមិនស្មើគ្នានៃភ្លើងបំភ្លឺ: ＜ 2.5%;
12. មីក្រូទស្សន៍តម្រឹម CCD វាលពីរ៖ កែវពង្រីក (1-5 ដង) + កែវថតគោលបំណងមីក្រូទស្សន៍;
13. ចលនាដាច់សរសៃឈាមខួរក្បាលនៃរបាំងដែលទាក់ទងទៅនឹងគំរូយ៉ាងហោចណាស់ត្រូវជួប: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º
14. ★ ដង់ស៊ីតេថាមពលបញ្ចេញ៖> 30MW / cm2,
15. ★ ទីតាំងតម្រឹម និងទីតាំងប៉ះពាល់ដំណើរការនៅក្នុងស្ថានីយពីរ ហើយម៉ូទ័រ servo ស្ថានីយ៍ទាំងពីរប្តូរដោយស្វ័យប្រវត្តិ។
16. កម្រិតសម្ពាធទំនាក់ទំនងធានានូវភាពអាចធ្វើឡើងវិញបានតាមរយៈឧបករណ៏។
17. ★ គម្លាតតម្រឹម និងគម្លាតការប៉ះពាល់អាចត្រូវបានកំណត់ជាឌីជីថល។
18. ★វាមាន Nano imprint interface និង proximity interface;
19. ★ប្រតិបត្តិការអេក្រង់ប៉ះ;
20. វិមាត្ររួម: ប្រហែល 1400mm (ប្រវែង) 900mm (ទទឹង) 1500mm (កម្ពស់) ។
